光輝くプラズマは、固体、液体、気体に続く物質の第4の状態であり、非常に大きなエネルギーを有しています。そのため、半導体デバイス製造を中心に広い分野でプラズマプロセスが応用されています。この研究室では、様々な環境で人工的にプラズマを生成し、各種基材に対して表面改質や薄膜コーティングなどを行うことで、新素材の創出とデバイス応用を目指しています。

当研究室では他大学や企業との連携を積極的に推進します。また、電気電子工学だけでなく、化学、機械、医薬医療、農業などに関連する学際領域研究にも果敢に挑戦します。